電容器在外施電壓作用下，由于介質(zhì)中的雜質(zhì)或氣隙等弱點的存在或發(fā)展引起介質(zhì)擊穿形成導通電路；接著在導通電路處附近很小范圍內(nèi)的金屬層中流過一個前沿很陡的脈沖電流。鄰近擊穿點處金屬層上的電流突然上升，按其離擊穿點的距離而成反比分布。在順時刻t，半徑為Rt的區(qū)域內(nèi)金屬層的溫度達到金屬的熔點，于是在此范圍內(nèi)的金屬熔化并產(chǎn)生電弧。該電流引起電容能量釋放，在弧道局部區(qū)域溫度突然升高，壓力突然增大。
 
  隨著放電能量的作用，半徑為Rt的區(qū)域內(nèi)金屬層劇烈蒸發(fā)并伴隨噴濺。在該區(qū)域半徑增大的過程中電弧被拉斷，金屬被吹散并受到氧化與冷卻，破壞了導電通路，在介質(zhì)表面形成一個以擊穿點為中心的失掉金屬層的圓形絕緣區(qū)域。電容器的自愈過程結(jié)束。